Variable Pressure SEM
일명 Environmental SEM 이라고도 하며 일반적으로 고진공을 필요로 하지 않는 일반 Material의 분석용으로 많이 이용되고 있습니다. 반도체 분야의 경우 Fab Process 에 필요한 각종 Tool 이나 Parts 등의 오염 분석 등에 이용 되고, 환경 관련 분석에도 이용되고 있습니다. LEO 1400 Series의 경우 SE Detector Option 이 있어 보다 높은 분해능으로 Image를 얻어낼 수가 있습니다. 다음은 일반 BSD 와 SE Image를 비교해 놓은 것입니다.
Model은 Chamber Size에 따라 나뉘며, Windows를 기본 Software로 채택하여 사용하기가 쉽고, System 구성이 간단하여 잔고장이 없으며, 유지 관리가 매우 쉽도록 Design 되었습니다.
Specification
Resolution : 3.5 nm
at 30 kV ( Tungsten ), 2.5 nm at 30 kV ( LaB6 ), 5.5 nm at 30 kV ( BSD-VP )
Magnification : 9x - 900,000 x
Accelerating Voltage
: 200V to 30 kV
Variable Pressure : 1 Pa to 400
Pa
Probe Current : 1 pA to 1 uA Optibeam controlled
Detector : Everhart Thornley Secondary Electron with VPSE (Variable Pressure
Secondary Electron)
or
BSD ( Back Scattering Detector )
LEO 1420 Introduction
( 1420 VP )
LEO 1430 Introduction
( 1430VP )
LEO 1450 Introduction
( 1450VP
)