아날로그 제어회로로 구성되어 있으며,제어 및 진단 기능이 우수하고, 하나의 MFC로 여러 종류의 가스에 대응 할 수 있어 사용서이 극대화 되었다. 외부 전자파 차단 효과를 극대화하고 외부 환경으로부터 솔레노이드 밸브를 보호하기 위하여 솔레노이드 밸브를 케이스 안쪽으로 내장시켰다. - Model : TSC-100 Series/TSC-200 Series - 유량 범위 : 0 ~ 5sccm ~ 100slm - 적용 기체 : 질소,산소,수소,헬륨,LPG,LNG,아르곤등(대부분의 기체) - 정확도 : +/-1.0% F.S 이내 - 전 원 : +/-15VDC or +24VDC - 입/출력 : +/-15VDC or +24VDC / 0~5V or 4~20mA
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